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第116章 科研进度2（第1页）

为了这一个光刻机的光源系统，陈阳以及龙科院的众人可没少花心思。

为了能够更好的滤除其他波长的光，先是研究了一种全新的材料，这种材料是一种掺杂各类化合物的玻璃，这种玻璃一来是可以吸收除了特定波长以外的光。

还能将当中的四散的135n的光汇聚在一起。

这种玻璃制备的透镜相比于euv多层膜反射镜对于制备和加工的工艺要求更低，而且不会因为等离子的体的冲击产生碎屑，从而导致汇聚光源出问题。

为了这一个材料，陈阳和龙科院的诸多科学家根据阳神ai研究的数百种可能的材料，从中进行不断筛选，随后为了这一个材料的制造，也没少耗费心血。

毕竟需要将那些化合物以特定的方式掺杂到当中，这跟制造半导体差不多，但是半导体的材料参数和基底跟这一个是完全不同的，因此只能不断进行调整，进行各种改进方式。

阳神ai可以提前帮助人们研究某一种究竟是不是可行的，但是实际还是要靠人操作的，此外像是这当中的意外是特别多的，很多时候连阳神ai都没办法解决。

这就要依靠陈阳他们了。

光源系统出来了，但是这并非意味着一帆风顺，还有着投影系统，载片台（晶圆台），对准系统，控制系统等一一系列问题需要解决。

像是世界上顶尖的超高精度机床对于加工误差要控制在0005以下，但是光刻机的加工比起这些超高精度机床还要高三个数量级，也就是还要高一千倍以上。

每一个都是难点，要想办法绕过去或者直接解决这些困难。

时间来到了第二年的六月。

“终于将这一个光刻机的原型机制造出来了，接下来就是验证和生产了。”

陈阳看着各种线路和机械结构裸露在外的光刻机。

在接下来的一个月当中，先是将这一个光刻机安装上外壳，安装到超净车间当中，进入到当中的每一个人都需要穿戴好专门的服装和相关的物品。

毕竟你皮肤上掉落的一个皮屑如果出现在晶圆当中，那么这一个晶圆就没办法用了。

像是一片最为便宜的晶圆都要好几千的，如果是十二寸的晶圆，价格高达数万块。

如果在超净车间以外的任何一个地方打开，空气中的灰尘就会直接附着到上面，这一块晶圆就废了。

从高纯度的多晶硅中生长出单晶硅锭，然后通过切割和抛光步骤制备出平整的晶圆。

再到经历氧化和钝化，光刻，蚀刻，掺杂，离子气相沉积，平坦化处理，金属化，经过各种工艺的，才终于能够将沙子制备成一块芯片。

流片一次也是需要上千万的资金，最为重要的便是掩模版不便宜，他是芯片加工不可或缺的一部分。

设计出的芯片想要加工必须要制备专门的掩模版，一块掩模版就高达数百万，如果芯片失败，这一块掩模版就直接废了。

陈阳的注视下，一块晶圆经过各种加工程序，最后得到了芯片，工作人员将芯片放到专门的仪器当中测试起来。

良品率百分之五十。

得知了良品率达到了百分之五十，陈阳整个人感觉都舒坦了不少。